真空球阀是一种专为真空系统设计的阀门，用于在真空或低压环境下控制介质的通断。其核心结构包括阀体、球体、阀座和执行机构，通过旋转球体90度来实现启闭。

以下是其主要特点：

结构与原理

球面密封：采用球面与阀座接触的密封方式，确保在真空和低压状态下均能可靠密封。

驱动方式：可手动、电动或气动驱动，适应不同自动化需求。

性能特点

高真空适应性：工作压力范围广，从1.3×10⁻⁷Pa到6×10⁵Pa，适用于高真空至常压环境。

密封性优异：漏率可低至1×10⁻¹⁰Pa·m³/s，有效维持系统真空度。

耐腐蚀性强：阀体多为不锈钢材质，密封件采用聚四氟乙烯（PTFE）、氟橡胶等，耐酸碱及腐蚀性介质。

操作灵活：支持任意位置安装，适用于正负压工况。

应用领域

半导体制造：控制反应室中的气体流量，确保制造环境纯净。

真空镀膜：调节镀膜室内的气体流动，实现高质量薄膜沉积。

化工与制药：用于酸碱介质的真空输送和处理，符合GMP标准。

航空航天：在燃料系统中保障密封性，确保可靠性。

类型与分类

按驱动方式：手动、电动、气动真空球阀。

按连接方式：法兰连接（光滑式、凹凸式等）、螺纹连接。

真空球阀凭借其卓越的密封性能和广泛的适应性，在需要精确控制真空环境的工业领域发挥着关键作用。